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igbt主要材料及參數(shù)介紹

鉅大LARGE  |  點(diǎn)擊量:5493次  |  2020年02月12日  

IGBT是能源變換與傳輸?shù)暮诵钠骷?,俗稱電力電子裝置的CpU,作為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè),在軌道交通、智能電網(wǎng)、特種航天、電動(dòng)汽車與新能源裝備等領(lǐng)域應(yīng)用極廣。


如下圖所示為一個(gè)N溝道增強(qiáng)型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),N+區(qū)稱為源區(qū),附于其上的電極稱為源極(即發(fā)射極E)。N基極稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)為柵區(qū),附于其上的電極稱為柵極(即門極G)。溝道在緊靠柵區(qū)邊界形成。在C、E兩極之間的p型區(qū)(包括p+和p-區(qū))(溝道在該區(qū)域形成),稱為亞溝道區(qū)(Subchannelregion)。而在漏區(qū)另一側(cè)的p+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū)(Draininjector),它是IGBT特有的功能區(qū),與漏區(qū)和亞溝道區(qū)一起形成pNp雙極晶體管,起發(fā)射極的作用,向漏極注入空穴,進(jìn)行導(dǎo)電調(diào)制,以降低器件的通態(tài)電壓。附于漏注入?yún)^(qū)上的電極稱為漏極(即集電極C)。



IGBT結(jié)構(gòu)圖


IGBT的開關(guān)作用是通過加正向柵極電壓形成溝道,給pNp(原來為NpN)晶體管提供基極電流,使IGBT導(dǎo)通。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guān)斷。IGBT的驅(qū)動(dòng)方法和MOSFET基本相同,只需控制輸入極N-溝道MOSFET,所以具有高輸入阻抗特性。當(dāng)MOSFET的溝道形成后,從p+基極注入到N-層的空穴(少子),對(duì)N-層進(jìn)行電導(dǎo)調(diào)制,減小N-層的電阻,使IGBT在高電壓時(shí),也具有低的通態(tài)電壓。


IGBT模塊的材料參數(shù)

目前,功率器件和模塊均采用引線鍵合的互連工藝和平面封裝結(jié)構(gòu)。圖1為普通IGBT模塊的解剖圖。



圖1IGBT模塊結(jié)構(gòu)示意圖


從上圖本文可以看出,IGBT模塊共由7層結(jié)構(gòu)構(gòu)成,大致可以分成三部分:芯片,DBC和基板。每部分之間由焊錫連接而成。本文知道IGBT是在晶閘管的基礎(chǔ)上發(fā)展而來,但與傳統(tǒng)的晶閘管相比,IGBT模塊省去了內(nèi)部的陰極和陽極金屬層,分別由芯片表面引出的焊線及DBC上層銅板代替。除此之外,原先的鎳金屬緩沖層也被去掉了,其代價(jià)是單個(gè)IGBT芯片的容量減少。為了彌補(bǔ)這一缺陷,本文需要在DBC板上安置更多的IGBT芯片[8]。


IGBT模塊是由不同的材料層構(gòu)成,如金屬,陶瓷以及高分子聚合物以及填充在模塊內(nèi)部用來改善器件相關(guān)熱性能的硅膠。他們的熱膨脹系數(shù)以及熱導(dǎo)率存在很大的差異,在器件的工作過程中會(huì)出現(xiàn)意想不到的問題。


物理上,熱導(dǎo)率代表了物體導(dǎo)熱性能的大小。在IGBT模塊中,涉及到的材料,其熱導(dǎo)率繪成柱形圖如下:



圖2材料導(dǎo)熱系數(shù)柱形圖


熱膨脹系數(shù)(coefficientofthermalexpansion,CTE)是指物體在單位溫度下體積的變化,其國際單位為K-1。對(duì)于IGBT這種具有堆疊結(jié)構(gòu)的功率器件,它在正常工作下溫度很高,因此不同的材料也會(huì)因熱脹冷縮原理產(chǎn)生不同程度的形變,進(jìn)而影響器件的可靠性。圖3繪出出了模塊內(nèi)幾種材料的熱膨脹系數(shù)。



圖3材料的熱膨脹系數(shù)


有機(jī)材料的引入可以使接合線不被腐蝕,還有較高的擊穿場強(qiáng),然而,它在模塊內(nèi)部形成的有機(jī)薄膜會(huì)產(chǎn)生較大的寄生電容,進(jìn)而影響器件的部分性能。


除了材料的選擇,事實(shí)上,IGBT模塊內(nèi)部每層材料的厚度也有其規(guī)范。傳統(tǒng)的IGBT模塊里,陶瓷的主要成分為Al2O3,基板采用銅材料;在高壓IGBT模塊里,DBC內(nèi)的陶瓷被AlN所取代;后期,高壓IGBT模塊又有所改進(jìn),主要變化在于使用碳化硅鋁取代原先的銅基板。


表1不同IGBT模塊各層材料的厚度單位:mm



當(dāng)然,在特定的場合,所需的IGBT模塊內(nèi)部材料厚度也不盡相同。比方說,原先的DBC陶瓷厚度為0.63mm,但為了減少器件的熱阻,后來的設(shè)計(jì)尺寸為0.38mm;再有對(duì)于一些需要承受更大高壓的IGBT模塊,它內(nèi)部氮化鋁陶瓷的厚度達(dá)到1mm。


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