鉅大LARGE | 點(diǎn)擊量:3466次 | 2019年08月21日
dummy電阻的作用及注意事項(xiàng)
在電路板上除了要體現(xiàn)電路的邏輯或功能確保LVS驗(yàn)證正確外,還要增加一些與LVS(電路匹配)無(wú)關(guān)的電阻,以減小中間過(guò)程中的偏差,我們通常稱這些電阻為dummy電阻。
dummy電阻的作用:
1、保證可制造性,防止芯片在制造過(guò)程中由于曝光過(guò)渡或不足而導(dǎo)致的蝕刻失?。喝缭趖apeout的時(shí)候會(huì)檢查芯片的density,插入dummymetal、dummypoly、dummydiff等;
2、避免由于光刻過(guò)程中光的反射與衍射而影響到關(guān)鍵元器件物理圖形的精度進(jìn)又而影響其size:如在模擬電路的電阻、電容陣列外圍加上dummyres和dummycap等,以及關(guān)鍵MOS附近加dummyMOS等;
3、避免芯片中的noise對(duì)關(guān)鍵信號(hào)的影響,在關(guān)鍵信號(hào)的周圍加上dummyrouTInglayer后者dummy元器件:如對(duì)于某些易受干擾的信號(hào)線除了盡量減小其走線長(zhǎng)度外,還應(yīng)該在其走線的左右和上下都加上dummymetal/poly并接地,保證其不受noise的影響。在cap外圍加dummycap也有類似的作用。
使用dummy電阻的注意事項(xiàng):
電阻的dummy是保證處于邊緣的電阻與其他電阻蝕刻環(huán)境一樣。
電阻dummy兩頭接地vssx。
在匹配電路的mos管左右畫(huà)上dummy,用poly,poly的尺寸與管子尺寸一樣,dummy與相鄰的第一個(gè)polygate的間距等于polygate之間的間距。
金屬層dummy要和金屬走向一致,即如果M2橫走,M2的dummy也是橫走向。
多個(gè)電阻(大于兩根)打上DUMMY。保證每根電阻在光刻時(shí)所處的環(huán)境一樣,最外面的電阻的NpIM層要超出EpOLY20.55um,即兩根電阻間距的一半。
消除電阻dummy的lvs報(bào)錯(cuò),把nimp和Rpdummy層移出最邊緣的電阻,不要覆蓋dummy。